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技術(shù)文章

真空管式爐充工作氣體方法

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真空管式爐充工作氣體方法——奧菲達儀器

● 使用氫氣作為工作氣體時 

1. 接通氫氣氣路,對各接頭處用肥皂水檢漏,確認不漏氣。 

2. 確認各閥門處于關(guān)閉狀態(tài)。 

3. 逆時針旋轉(zhuǎn)旋鈕開氫氣瓶主閥,順時針旋動旋鈕,緩慢打開出口減壓閥,使出口氣壓在

0.1MPa。 

4. 接通機械泵電源,打開管式爐出口閥和機械泵氣路上的兩個閥門,抽5分鐘。 5. 關(guān)閉機械泵氣路上的兩個閥門,關(guān)閉管式爐出口閥門,關(guān)機械泵。 6. 逆順時針打開上氣路控制閥,使箭頭指向“開”位置。 7. 逆順時針調(diào)節(jié)流量計旋鈕,使示數(shù)在20ml/min。 

8. 逆時針旋動旋鈕,打開管式爐進氣閥,直至氣壓表讀數(shù)為零。 9. 打開管式爐進氣閥,打開氫氣氣路上的紅色出口閥門。 

10. 在通氫氣滿十分鐘后,才能開始加熱管式爐。加熱前,逆時針調(diào)節(jié)流量計旋鈕,使錐形

瓶中氣泡出現(xiàn)的速度為2個/秒鐘。

●使用惰性氣體作為工作氣體時:

1. 接通工作氣體氣路,將管式爐氣體出口端連接機械泵。 2. 打開管式爐進氣閥,合上真空泵電源,打開出氣閥(注意把住法蘭,避免爐管受力過大),抽空剛玉管和氣體管路。 

3. 當管式爐真空表到-0.1(指針到盡頭時),關(guān)閉出氣閥,關(guān)閉進氣閥。 

4. 逆時針旋動旋鈕開氣瓶主閥,順時針旋動旋鈕,緩慢打開出口減壓閥,使出口氣壓在0.004MPa(2小格)。 5. 逆時針旋動旋鈕,緩慢打開管式爐進氣閥;密切注意管式爐氣壓表,確認氣壓在0.08MPa以下(如氣壓高于0.08MPa,打開管式爐出氣閥放氣)。 

6. 管式爐氣壓表當氣壓穩(wěn)定時,關(guān)閉管式爐進氣閥,打開出氣閥,抽真空到-0.1,關(guān)管式爐出氣閥。 

7. 重復(fù)4、5步兩次。 

8. 關(guān)機械泵,打開管式爐進氣閥。

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